~T18高精度芯片貼裝機器人,擁有高精度(±5μm)、小角度(±0.1°)的可控貼裝力,配備自動進出料及芯片底部視覺等兼容裝置, 支持12英吋晶圓工作台 其自主研發的視覺算法技術、運動控制技術及採用的模塊化工藝流程,使得該設備擁有可兼容Tray&Wafer、自動換吸嘴、更精確的亞像素級芯片辨識率、豐富的生產管控系統及靈活的產品切換等功能。 可實現TO、COB LF,深腔陶瓷等基板,及VCSEL、DFB、EML、LD、PD、TIA等多種芯片同時貼裝工藝。